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  • 光刻膠過濾

  • 光刻的原理是在硅片表面覆蓋一層具有高度光敏感性光刻膠,再用光線(一般是紫外光、深紫外光、極紫外光)透過掩模照射在硅片表面,被光線照射到的光刻膠會發(fā)生反應(yīng)。此后用特定溶劑洗去被照射/未被照射的光刻膠, 就實現(xiàn)了電路圖從掩模到硅片的轉(zhuǎn)移。光刻工藝對極小污染物的控制苛刻到極致,同時嚴(yán)控過濾產(chǎn)品的金屬離子析出。最強(qiáng)耐腐蝕全氟濾芯采用進(jìn)口PTFE膜,進(jìn)口PTFE支撐層,全氟骨架經(jīng)過特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計而制成適用于光刻膠的終端過濾。
  • 主要特點
  • 天然疏水性、耐腐蝕
    廣泛的化學(xué)相容性
    絕對孔徑確保有效過濾
    每支濾芯通過完整性檢測
  • 0571-87022016
  • 詳細(xì)信息 在線留言
    材料結(jié)構(gòu) 操作條件 絕對過濾精度(um)
    濾材: 疏水聚四氟乙烯膜
    內(nèi)芯: 聚丙烯
    外罩: 聚丙烯
    端蓋: 聚丙烯
    墊片/O型圈: 硅橡膠、三元乙丙、氟橡膠、包四氟
    密封技術(shù): 熱熔焊接
    工作溫度:≤80℃
    可耐最大壓差:4 bar (21℃)/2.4bar (80℃)
    滅菌方法:121℃/30min蒸汽滅菌

    0.05、0.10、0.22、0.45、0.65、0.80、1.20

    有效過濾面積

    ≥0.65 m2/10〞

    生物安全性 濾芯尺寸 完整性測試
    內(nèi)毒素:≤0.25EU/ml
    溶出物:≤30mg/10〞
    外徑: 68mm
    長度: 5〞、10 〞、20 〞、30〞、40〞
    起泡點測試(60%IPA))
    0.10um≥4.0bar
    0.22um≥3.4bar
    0.45um≥2.3bar
    應(yīng)用領(lǐng)域

    電子行業(yè):電子級各類酸、堿、有機(jī)試劑過濾。
    制藥行業(yè):熔媒除菌過濾、腐蝕性、強(qiáng)氧化性液體、有機(jī)試劑等過濾。


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